光刻胶完整制备技术研究及i线胶实验优化.docVIP

光刻胶完整制备技术研究及i线胶

实验优化

摘要

面向成熟制程集成电路、功率半导体器件及显示面板产业对365nmi线光刻胶本土化供应的现实需求，本文开展DNQ-酚醛正型光刻胶全流程制备工艺开发与实验优化研究。构建涵盖高纯原料预处理、甲酚系酚醛树脂可控合成、树脂多级深度提纯、重氮萘醌感光组分精制、黄光环境洁净配胶、梯度精密过滤及成品性能检测的一体化制备工艺体系，系统优化酚醛树脂缩聚温度、单体配比、沉淀提纯等核心工艺参数，确定适配实验室小试制备的最优光刻胶配方与过滤方案。以间甲酚-对甲酚共聚线性酚醛树脂为成膜基体，2,1,4-重氮萘醌磺酸酯为感光活性物质，丙二醇甲醚醋酸酯（PGMEA）为主体溶剂，完成i线光刻胶试样的可控制备。借助凝胶渗透色谱（GPC）、紫外-可见吸收光谱（UV-Vis）、晶圆旋涂光刻试验、扫描电镜（SEM）等多种表征手段，系统评价基体树脂与光刻胶成品的理化特性与微纳成像性能。实验结果表明：当间甲酚与对甲酚摩尔配比为6:4、聚合温度恒定95℃、缩聚保温时长4h时，粗树脂经三次溶解-沉淀循环协同阴阳离子交换深度脱杂处理后，酚醛树脂游离酚残留量降至0.72%，分子量分布指数PDI控制为1.38；光刻胶最优质量配比为酚醛树脂∶DNQ感光剂∶PGMEA溶剂=76∶19∶105，通过0.2μm、0.1μm两级PTFE梯度精密过滤获得成品光刻胶。该试样对365nm紫外