感应耦合等离子体二维流体模型及其实验空间分布对比.pdfVIP

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感应耦合等离子体的二维流体模型

及其与实验空间分布的比较

J.D.Bukowski和D.B.Gravesa)

Dep加利福尼亚大学伯克利分校化学工程系，加利福尼亚州伯克利94720

P.Vitello

利弗莫尔国家，加利福尼亚州利弗莫尔94551

~收稿日期：；接受日期：！

开发和测试适用于化学活性、低压等离子体的模型的关键需求是模型预测与实验测量之

间的详细比较。本文描述了一种感应耦合等离子体的二维轴对称流体模型，并将模型预

测与P.A.Miller、G.A.Hebner、K.E.Greenberg、P.D.Pochan和B.P.

Aragon@J.Res.Natl.Inst.Stand.Technol.100,427~1995!#的电子密度、电子温

度和等离子体电位的实验测量结果进行了比较。模型预测与实验测量在氩气和氯气放电

中进行了对比。观察到模型预测与实验诊断之间存在定性到半定量的一致性，表明模型

中的假设