ISO 14644-52025 洁净室和相关的受控环境第5部分操作标准立项发展报告.docx

洁净室和相关的受控环境第5部分：操作标准立项发展报告

标准名称：洁净室和相关的受控环境第5部分：操作标准立项发展报告

英文标题：StandardizationDevelopmentReport:Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—Part5:Operations

标准编号：ISO14644-5:2025

摘要

中文摘要：

本报告围绕国际标准化组织（ISO）于2025年5月27日正式发布的ISO14644-5:2025《洁净室和相关的受控环境第5部分：操作》展开系统性研究。洁净室和相关受控环境是半导