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基于干扰观测器的永磁直线电机推力波动抑制与精密定位控制

摘要

随着高端制造装备向纳米级精度迈进，永磁直线电机（PMLSM）因其直接驱动特性消除了中间传动环节的机械误差，成为精密定位平台的核心执行机构。然而，直接驱动方式将负载扰动及电机内部的齿槽力、端部效应直接耦合至动子，导致推力波动，严重制约了定位精度与轨迹跟踪性能。本课题针对这一问题，设计了一种基于干扰观测器（DOB）的推力波动抑制策略，旨在实现纳米级定位平台的高精度控制。

本文首先分析了永磁直线电机推力波动的产生机理，建立了包含非线性扰动因素的电机数学模型。在此基础上，设计了内环电流控制器与外环位置速度控制器，构建了基础的双闭环控制架构。核心工作在于设计干扰观测器，将齿槽力与端部效应视为等效扰动进行实时估计，并通过前馈补偿方式将观测值叠加至电流环输入端，实现对推力波动的主动抑制。通过MATLAB/Simulink平台搭建了系统仿真模型，并对所提控制策略进行了验证。

仿真与实验结果表明，所设计的DOB控制器能有效估计并补偿推力波动，显著降低了系统的跟踪误差。相较于传统PID控制，引入DOB后系统的定位精度提升了约40%，稳态误差控制在纳米级范围内，验证了该方案的有效性与工程实用价值。

第一章绪论

1.1研究背景

在现代高端制造领域，如集成电路光刻、高精度数控加工及生物医学操作等，精密定位技术已成为不可或缺的