现代制造技术与检测 课件 模块四单元三 微机电技术 .pptx

模块四现代制造机器人技术单元三微机电技术现代制造技术与检测

学习目标知识目标了解微机电系统的材料与制造技术；掌握微机电系统的概念、特征、分类及测量等。能力目标能理解微机电系统的测量技术；能阐述微机电系统的概念、特征、分类。素养目标通过本单元的学习培养学生在学习过程中不断探索新方法、新技术，提升创新能力，培养精益求精、严谨细致的工匠精神。

一、微机电系统概述?微机电系统（MEMS）是一种集成了微型机械、电子和计算机技术的系统?它通常由微机械元件、感应元件、电子元件和计算机控制单元组成，具有小型化、低功耗、高集成度、高精度等特点?本章节将对MEMS系统的发展历程、应用领域和未来发展进行阐