厚BOX层上平面闭合间隙MEMS振动驻极体能量收集器应用.pdfVIP

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  • 2026-08-06 发布于北京
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厚BOX层上平面闭合间隙MEMS振动驻极体能量收集器应用.pdf

T4P.073

平面闭合间隙的MEMS振动驻极体能量收集器在厚BOX层上的应用

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焰,和1

铃木裕治东京大学机械工程系,东京

器件设计

介绍了一种改进的平面驻极体能量收集器,该在驻极体能量收集器中

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