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CN120237034A 晶圆缺陷检测方法、装置和设备 （西安奕斯伟材料科技股份有限公司）.pdfVIP

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  • 2026-08-05 发布于重庆
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CN120237034A 晶圆缺陷检测方法、装置和设备 （西安奕斯伟材料科技股份有限公司）.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN120237034A

    (43)申请公布日2025.07.01

    (21)申请号202510380745.3

    (22)申请日2025.03.28

    (71)申请人西安奕斯伟材料科技股份有限公司

    地址710000陕西省西安市高新区西沣南

    路1888号1-3-029室

    申请人西安欣芯材料科技有限公司

    (72)发明人万珣马强强史进

    (74)专利代理机构北京银龙知识产权代理有限

    公司11243

    专利代理师赵春杰

    (51)Int.Cl.

    H01L21/66(2006.01)

    权利要求书2页说明书9页附图2页

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