原创力文档半导体芯片生产能耗管控作业规范
目录TOC\o1-4\z\u
一、总则 3
二、适用范围 4
三、术语和定义 5
四、能耗管控基本原则 10
五、能耗管控组织职责 12
六、能源计量器具管理 16
七、能源统计核算管理 18
八、洁净室系统能耗管控 21
九、工艺设备能效准入管理 22
十、工艺设备运行能效管控 24
十一、关键工艺环节能耗管控 25
十二、生产排程能耗优化管控 27
十三、原辅材料使用能耗管控 29
十四、动力供应系统能耗管控 30
十五、废水处理系统能耗管控 32
十六、废气处理系统能耗管控
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