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2026MEMS制造：从硅基到新材料的晶圆工艺迭代
TOC\o1-3\h\z\u24908一、行业背景与演进趋势 2
243121.12026年MEMS市场增长驱动力分析 2
222221.2传统硅基工艺的瓶颈与突破需求 4
4586二、先进硅基工艺的深度优化 6
228312.1SOI晶圆在高性能传感器中的应用 6
144072.2深反应离子刻蚀（DRIE）技术的精度提升 8
24629三、新型材料体系的引入与特性 9
115093.1氮化铝（AlN）压电薄膜的沉积工艺 9
318793.2柔性聚合物基底在可穿
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