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PPT光電半導體製程技術 薄膜.pptx

PPT光電半導體製程技術 薄膜.pptx

    光電半導體製程技術

    OptoelectronicSemiconductorManufacturingTechnology

    Bing-MauChen陳炳茂

    半導體與光電科技系明新科技大學

    課程大綱

    u光電半導體製程簡介

    u摻雜製程

    P型半導體、N型半導體、擴散、離子佈植

    u薄膜沉積

    物理氣相沉積(PVD)、化學氣相沉積(CVD)

    u微影

    光罩、正光阻與負光阻、微影製程、曝光機

    u蝕刻

    濕式蝕刻、乾式蝕刻

    u光電半導體產品製程

    OLED、TFTLCD、LED

    2

    P.

    03

    薄膜沉積

    ThinFilmDeposition

    P.3章節03

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