超声波洗作业指导书2025版.docx

超声波洗作业指导书2025版

1适用范围

本指导书适用于机械加工、电子制造、光学元器件、医疗器件、五金制品、航空航天零部件等行业的精密清洗工序，涵盖金属、工程塑料、光学玻璃、陶瓷、硅片等各类材质工件的除油、除蜡、除碎屑、除助焊剂、除有机污染物、除颗粒物等清洗场景。

本指导书不适用于遇超声空化作用易发生结构损伤的脆薄工件（如厚度＜0.2mm的无支撑玻璃薄片、未封装的MEMS微振梁器件）、化学性质不稳定易与清洗介质反应的工件（如活泼碱金属单质工件、未做防护的镁合金裸件）、含密封性空腔且耐压＜0.3MPa的工件，上述特殊工件清洗需单独制定专项工艺文件。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用