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- 2026-08-11 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119615078A
(43)申请公布日2025.03.14
(21)申请号202411702397.9
(22)申请日2024.11.26
(71)申请人东莞市元素真空科技有限公司
地址523000广东省东莞市大岭山镇大岭
山拥军路209号101室
(72)发明人高佳周征华宋加杰赵金雷
王随随
(74)专利代理机构深圳东阳光知识产权代理有
限公司441151
专利代理师马家亮
(51)Int.Cl.
C23C14/34(2006.01)
C23C14/54(2006.01)
权利要求
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