CN119609824A 晶圆倒角装置和晶圆倒角方法 （西安奕斯伟材料科技股份有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119609824A

(43)申请公布日2025.03.14

(21)申请号202411703387.7B24B1/00(2006.01)

(22)申请日2024.11.26

(71)申请人西安奕斯伟材料科技股份有限公司

地址710065陕西省西安市高新区西沣南

路1888号1-3-029室

(72)发明人党快乐白强强潘石郭智昂

兰洵

(74)专利代理机构西安维英格知识产权代理事

务所(普通合伙)61253

专利代理师宋东阳王渝

(51)Int.Cl.

B24B9/06(2006.01)

B24B37/0