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化学机械测试题目及答案.doc

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    化学机械测试题目及答案

    一、单项选择题（每题2分，共20分）

    1.以下哪种不属于常见的化学机械抛光液成分？（）

    A.磨料

    B.氧化剂

    C.润滑剂

    D.制冷剂

    2.化学机械抛光过程中，材料去除的主要机制是（）。

    A.单纯的机械磨损

    B.单纯的化学腐蚀

    C.化学与机械的协同作用

    D.高温熔化去除

    3.化学机械加工中，磨料的硬度通常（）被加工材料的硬度。

    A.低于

    B.等于

    C.高于

    D.无要求

    4.在化学机械抛光中，以下哪种磨料应用最广泛？（）

    A.二氧化硅

    B.氧化铝

    C.碳化硅

    D.金刚石

    5.化学机械加工时，抛光压力增大，材料去

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