T_SICA 006-2024 集成电路晶圆厂用天车传送系统通用技术要求.docxVIP

ICS53.040CCSJ70

SICA

团体标准

T/SICA006—2024

集成电路晶圆厂用天车传送系统

通用技术要求

Generaltechnicalrequirementsforoverheadhoisttransfersystem

usedinintegratedcircuitwaferfactory

2024-06-07发布2024-07-07实施

上海市集成电路行业协会发布

T/SICA006—2024

I

目次

前言 II

1范围 1

2规范性引用文件 1

3术语和定义 1

4缩略语 1

5技术要求 1

.1轨道 51

.2天车25

维修站253

.4天车控制系统35

6环境要求 3

.1清洁要求46

.2