T∕CSCP 0059.3-2025 微机电系统(MEMS)材料腐蚀芯片与传感器 第3部分:测试方法.pdfVIP

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  • 2026-08-12 发布于浙江
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T∕CSCP 0059.3-2025 微机电系统(MEMS)材料腐蚀芯片与传感器 第3部分:测试方法.pdf

ICS77.060

CCSH25

中国腐蚀与防护学会团体标准

T/CSCP0059.3-2025

微机电系统(MEMS)材料腐蚀片及传

感器

第3部分:测试方法

Micro-Electro-MechanicalSystems(MEMS)materialcorrosionchip

andsensor——

Part3:Testmethod

2025-09-01发布2025-10-01实施

中国腐蚀与防护学会发布

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