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T∕CSCP 0059.5-2025 微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片及传感器 第5部分：电路设计及测试.pdfVIP

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  • 2026-08-12 发布于浙江
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T∕CSCP 0059.5-2025 微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片及传感器 第5部分：电路设计及测试.pdf

    ICS77.060

    CCSH25

    中国腐蚀与防护学会团体标准

    T/CSCP0059.5-2025

    微机电系统(MEMS)材料腐蚀芯及传感

    器

    第5部分：电路设计及测试

    Micro-Electro-MechanicalSystems(MEMS)materialcorrosionchip

    andsensor——

    Part5：Circuitdesignandtesting

    2025-09-01发布2025-10-01实施

    中国腐蚀与防护学会发布

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