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半导体芯片实验室建设规范.docx

半导体芯片实验室建设规范.docx

    半导体芯片实验室建设规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 3

    二、术语与定义 6

    三、实验室建设目标 19

    四、选址与规划要求 20

    五、功能分区设置 22

    六、建筑结构要求 27

    七、洁净环境要求 29

    八、温湿度控制要求 31

    九、气体供应系统 33

    十、纯水与排水系统 35

    十一、通风与排风系统 38

    十二、静电防护要求 42

    十三、消防与安全设施 43

    十四、工艺测试区建设 47

    十五、材料存储要求 49

    十六、人员出入管理 51

    十七、洁净服与防护要求 53

    十八、监测与报警系统 54

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