T∕CASAS 068-2026 碳化硅晶片制造用各向同性多孔石墨.docxVIP

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团体标准

T/CASAS068—2026

碳化硅晶片制造用各向同性多孔石墨

Isotropicporousgraphiteforsiliconcarbidewafermanufacturing

2026-05-06发布2026-05-06实施

第三代半导体产业技术创新战略联盟发布

T/CASAS068—2026

I

目次

前言 II

引言 III

1范围 1

2规范性引用文件 1

3术语和定义 1

4技术要求 1

4.3纯度及杂质元素含量 2

5试验方法 2

5.1体积密度 2

5.2气孔率 2

5.3电阻率 2

5.4抗折强度 2

5.5耐压强度 2

5.6热膨胀系数 3

5.7热导率 3

5.8各向同性度 3

5.9纯度及杂质元素含量 3

6检验规则 3

6.1组批 3

6.2