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OLED显示专用背板项目技术方案.docx

OLED显示专用背板项目技术方案.docx

    OLED显示专用背板项目技术方案

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、项目概述 3

    二、建设目标 4

    三、产品定义 5

    四、技术路线 10

    五、工艺流程 12

    六、材料体系 13

    七、关键设备 15

    八、产线布局 17

    九、洁净环境 19

    十、质量控制 21

    十一、性能指标 23

    十二、可靠性要求 28

    十三、良率提升 29

    十四、过程监测 31

    十五、缺陷控制 34

    十六、自动化方案 36

    十七、信息化集成 38

    十八、能耗管理 40

    十九、安全设计 41

    二十、环保设计 45

    二十一、研发验证

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