GBT 16942-2025 电子气体 大宗气体标准立项发展报告.docxVIP

电子气体大宗气体标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:ElectronicGases—BulkGases

摘要

关键词：电子气体；大宗气体；国家标准；半导体材料；标准化；质量控制；供应链安全

Keywords:ElectronicGases;BulkGases;NationalStandard;SemiconductorMaterials;Standardization;QualityControl;SupplyChainSecurity

1引言

1.1电子大宗气体的行业定位与战略意义

电子气体广泛应用于集成电路、显示面板、光伏能源、光纤通信等电子信息产业，是芯片制造过程中的第二大消耗性材料，其成本约占晶圆制造成本的5%-8%。按用量和包装方式的不同，电子气体通常分为大宗气体和特种气体两大类。其中，大宗气体主要包括氮气（N?）、氢气（H?）、氦气（He）、氩气（Ar）、氧气（O?）、二氧化碳（CO?）等，通常采用现场制气或杜瓦罐、管束车等大宗供应方式，用量大、连续性强，是晶圆制造、刻蚀、清洗、退火等核心工艺环节不可或缺的基础保障。

1.2国外相关标准概况

在国际层面，电子大宗气体的标准化工作起步较早。国际半导体设备与材料组织（SEMI）制定了涵盖电子气体品质规格的SEMIC系列标准（如