GBT 14140-2025 半导体晶片直径测试方法标准立项发展报告.docx

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半导体晶片直径测试方法标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:TestMethodforDiameterofSemiconductorWafers

摘要

关键词:半导体晶片;直径测试;国家标准;计量溯源;测试方法;标准化

Abstract

Semiconductorwafersserveasthecorefoundationalmaterialforintegratedcircuitmanufacturing,andtheprecisemeasurementofwaferdiameterdire

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