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探索PMS-PNN-PT压电厚膜材料性能：制备、特性与应用

一、引言

1.1研究背景与意义

在材料科学的众多领域中，压电材料以其独特的压电效应，展现出非凡的应用价值。当对压电材料施加电场时，它会发生压缩或拉伸变形；反之，当材料受到力的作用时，其表面则会产生电荷。这种机械能与电能之间的双向转换特性，使得压电材料在传感器、能量转换器和微机电系统（MEMS）等诸多领域中得到了广泛的应用。

随着电子元器件不断朝着小型、高灵敏、集成、多功能化的方向发展，薄/厚膜材料及器件逐渐成为研究的重点。压电厚膜材料作为一类新型材料，通常是指厚度为10～100μm的压电膜，它兼具有压电陶瓷与压电薄膜的优点。与薄膜相比，其压电、铁电性能较少受界面、表面等的影响，较大的厚度也能产生更大的驱动力，且具有更宽的工作频率；与体材料相比，其工作电压低（小于5V）、使用频率高、与半导体工艺兼容。因此，压电厚膜已被广泛应用于微型驱动器、压电微马达、微流体泵、超声换能器等系统中。

PMS-PNN-PT压电厚膜材料是一种典型的压电厚膜材料，其化学表达式为Pb(Mg?/?Nb?/?)O?-Pb(Ni?/?Nb?/?)O?-PbTiO?，具有较高的压电系数、良好的稳定性和耐热性，在传感器和能量转换器中有很广泛的应用前景。对PMS-PNN-PT压电厚膜材料性能进行深入研究，具有极其重要的意