GB-T 47753-2026《微机电系统（MEMS）技术 车规级MEMS半导体气体传感器技术规范》.pptxVIP

GB/T47753-2026

微机电系统(MEMS)技术车规级

MEMS半导体气体传感器技术规范

1范围

本文件规定了车规级MEMS半导体气体传感器的分类、基本参数、性能要求、试验方法。

本文件适用于采用MEMS工艺制作的车规级MEMS半导体气体传感器的设计、生产和检验。包括车内/外空气质量传感器、车载人体呼出气体传感器、汽车尾气传感器、新能源车动力安全气体传感器(如车用动力电池安全气体传感器和燃料电池车安全气体传感器)等。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。

GB/T2423.1电工电子产品环境试验第2部分试验方法试验A:低温

GB/T2423.2电工电子产品环境试验第2部分试验方法试验B:高温

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

[MEMS半导体气体]传感器[MEMSsemiconductor]gassensor

采用MEMS技术加工工艺、利用半导体材料的电导率变化，将感知的气体浓度转换成可输出电信号的器件。