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（共40页PPT）太阳能光伏黑硅技术.ppt

（共40页PPT）太阳能光伏黑硅技术.ppt

    目前由于银浆颗粒较大，银不能流入硅孔，栅线和硅的接触电阻较大通过回流工艺，使银流入硅孔，形成准埋栅结构银栅准埋栅结构，减少接触电阻由于多孔结构，黑硅的钝化有很大差别研究反应自钝化工艺，实现表面、体内同时钝化SiNx黑硅的钝化PECVD,ALD高效太阳能电池新工艺研究成果介紹夏洋.ac中国科学院微电子研究所2012.12.08内容一、背景二、黑硅发现三、黑硅制作新技术四、各种黑硅技术比较五、黑硅太阳能电池六、等离子体掺杂制备PN结七、原子层沉积钝

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