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2025年半导体行业技术部技术员光刻机维护手册

2025年半导体行业技术部技术员光刻机维护手册

第1章光刻机维护基础

1.1维护安全规范

维护光刻机，安全是前提。没有严格的安全意识，任何操作都可能带来灾难性后果。电离辐射、高压电、高温环境，这些是光刻机日常运行中隐匿的风险。未经授权的接触，哪怕只是短暂的触碰，都可能造成人员伤害或设备损坏。

操作前，必须穿戴指定的个人防护装备（PPE）。防辐射服、护目镜、防静电鞋是基础配置。静电放电（ESD）对精密传感器和电路板的影响不容忽视，经验数据显示，90%以上的电子元件损坏源于静电积累。

进入维护区域前，确认设备已断电，并处