原创力文档原子层沉积术语标准立项发展报告
StandardizationDevelopmentReport:Atomiclayerdeposition—Vocabulary
摘要
关键词：原子层沉积；术语标准；国际标准化组织；薄膜制备；半导体制造；ISO8181
Keywords:AtomicLayerDeposition;TerminologyStandard;InternationalOrganizationforStandardization;ThinFilmDeposition;SemiconductorManufacturing;ISO8181
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