CN119772789A 一种半导体抛光的反馈控制方法及系统 (磊菱半导体设备(江苏)有限公司).pdfVIP

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  • 2026-08-15 发布于重庆
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CN119772789A 一种半导体抛光的反馈控制方法及系统 (磊菱半导体设备(江苏)有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119772789A

(43)申请公布日2025.04.08

(21)申请号202411658224.1

(22)申请日2024.11.20

(71)申请人磊菱半导体设备(江苏)有限公司

地址226000江苏省南通市启东经济开发

区凯旋路399号

(72)发明人刘尚书汪民黄伟施建华

(74)专利代理机构南通鼎点知识产权代理事务

所(普通合伙)32442

专利代理师杨政飞

(51)Int.Cl.

B24B51/00(2006.01)

B24B49/00(2012.01)

B24B29/02(2006.01)

B24B1/00(2006.01)

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