GBT 43772-2024 电子气体 二氧化碳标准立项发展报告.docx

电子气体二氧化碳标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:ElectronicGas—CarbonDioxide

摘要

随着半导体制造、平板显示、光伏发电等电子信息产业的飞速发展，电子级高纯二氧化碳作为关键工艺介质，在超临界清洗、激光器工作气体、制冷介质及化学气相沉积等环节中发挥着不可替代的作用。然而，长期以来我国电子气体二氧化碳产品缺乏统一的国家标准，导致各生产企业执行标准不一、质量水平参差不齐，难以满足高端制造工艺对气体纯度和杂质含量的严苛要求。本报告围绕国家标准GB/T43772-2024《电子气体二氧化碳》的立项背景、编制过程、