用于量子点、色心等单光子源晶圆级单光子纯度、不可区分性、亮度及发射速率等关键量子光学性质的低温显.docx

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用于量子点、色心等单光子源晶圆级单光子纯度、不可区分性、亮度及发射速率等关键量子光学性质的低温显微测试系统

摘要

本报告聚焦半导体设备领域中的晶圆级单光子源测试方向，系统研究用于量子点、色心等固态单光子发射体晶圆级量子光学性质表征的低温显微测试系统。

量子信息技术正从实验室原理验证迈向工程化集成，对高品质单光子源的需求呈现指数级增长。然而，固态单光子源在材料生长与器件制备过程中存在显著的空间非均匀性，使得晶圆级批量筛选成为产业化瓶颈。当前行业核心痛点在于：缺乏能够在低温条件下、以高数值孔径成像光路实现单光子计数，并对单光子纯度、不可区分性、亮度及发射速率等关键指标进行并行测试