GBT 43771-2024 电子气体 一氧化碳标准立项发展报告.docx

电子气体一氧化碳标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:ElectronicGas—CarbonMonoxide

摘要

一氧化碳（CO）作为半导体制造、光伏产业及平板显示等领域不可或缺的关键电子特气，其纯度与杂质含量直接决定电子器件的性能与良率。随着国内集成电路产业的高速发展，对高纯一氧化碳气体的需求量呈爆发式增长，而此前国内缺乏统一、权威的国家级产品标准，导致市场质量参差不齐、贸易流通受阻。本报告围绕国家标准GB/T43771-2024《电子气体一氧化碳》的立项背景、编制过程与技术内容展开系统论述。该标准由全国半导体设备和材料标准化