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MEMS生物传感器研发工程师考试试卷及答案

MEMS生物传感器研发工程师考试试卷及答案

填空题（共10题，每题1分）

1.MEMS的全称是______。

2.生物传感器的核心组成部分包括生物识别元件和______。

3.常用的压电MEMS材料有______（写出一种即可）。

4.生物传感器检测的信号类型通常包括电信号、光信号和______。

5.MEMS微加工中常用的光刻工艺需要使用______作为掩膜材料。

6.酶传感器中，酶与底物反应会产生______变化，从而被转换元件检测。

7.MEMS生物传感器的封装需要考虑______相容性。

8.免疫传感器利用______与抗原的特异性结合进行检测。

9.常用的生物分子标记物包括荧光染料和______。

10.MEMS生物传感器的显著特点之一是______化。

填空题答案：

1.微机电系统

2.信号转换元件

3.石英（或压电陶瓷、氮化铝）

4.热信号（或机械信号）

5.光刻胶

6.化学（或物理）

7.生物

8.抗体

9.纳米金颗粒（或量子点）

10.小型

单项选择题（共10题，每题2分）

1.MEMS生物传感器中，最常用的压电材料是（）

A.硅B.石英C.塑料D.玻璃

2.生物传感器的选择性主要由（）决定

A.生物识别元件B.信号转换元件C.信号处理电路D.电源模块

3.干法刻蚀中，常用于刻蚀硅的气体是（）

A.O2B.SF6C.N