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MEMS湿度传感器研发工程师考试试卷及答案

MEMS湿度传感器研发工程师考试试卷及答案

一、填空题（共10题，每题1分）

1.MEMS湿度传感器中常用的有机湿度敏感材料是__________。

2.电容式湿度传感器的敏感原理基于__________随湿度变化。

3.相对湿度的单位是__________（英文缩写）。

4.MEMS湿度传感器制备中，敏感膜常用的涂覆工艺是__________。

5.为减小温度对测量结果的影响，需加入__________电路。

6.湿度传感器的响应时间通常定义为达到最终值__________%所需的时间。

7.MEMS湿度传感器的核心结构一般由敏感元件和__________组成。

8.湿度传感器校准中常用的标准设备是__________。

9.电阻式湿度传感器的电阻值随湿度增加而__________（填“增大”或“减小”）。

10.封装MEMS湿度传感器时，需保证封装材料具有良好的__________性。

答案：1.聚酰亚胺；2.介电常数；3.RH；4.旋涂法；5.温度补偿；6.90；7.信号调理电路；8.标准湿度发生器；9.减小；10.透气。

二、单项选择题（共10题，每题2分）

1.电容式湿度传感器的输出信号与湿度的关系是（）

A.线性B.非线性C.指数D.对数

2.下列哪种材料不适合作为MEMS湿度敏感材料？（）

A.聚酰亚胺B.二氧化硅C.氯化