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多晶硅薄膜太阳能电池的研制及发展趋势

一、多晶硅薄膜太阳能电池概述

在全球能源结构向清洁化、可持续化转型的浪潮中，太阳能光伏发电技术凭借其取之不尽、用之不竭的能源供给和对环境友好的特性，占据了举足轻重的地位。在众多光伏技术路线中，多晶硅薄膜太阳能电池（PolycrystallineSiliconThin-FilmSolarCells,poly-SiTFSCs）以其独特的优势，始终是研究与产业化领域的关注焦点。

相较于传统的晶体硅太阳能电池，多晶硅薄膜电池具有显著的材料成本优势。其硅材料用量仅为前者的数十分之一甚至百分之一，有效缓解了对高纯度硅料的依赖。同时，它继承了晶体硅材料优良的光吸收性能、较高的载流子迁移率以及良好的稳定性，克服了非晶硅薄膜电池光致衰减（S-W效应）的固有缺陷。此外，多晶硅薄膜电池可沉积于玻璃、不锈钢箔、塑料等廉价或柔性衬底上，为实现大面积、低成本、甚至柔性光伏器件提供了可能，在建筑光伏一体化（BIPV）、便携式电源等领域展现出广阔的应用前景。

二、多晶硅薄膜的制备技术

多晶硅薄膜的制备是多晶硅薄膜太阳能电池研制的核心环节，其质量直接决定了后续电池的光电转换效率和长期可靠性。目前，主要的制备技术可归纳为以下几类：

（一）化学气相沉积（CVD）技术

化学气相沉积技术是制备多晶硅薄膜最常用的方法之一。其基本原理是利用硅烷（SiH?）等含硅气体在一定的温度