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（共54页PPT）计划现场检查30.ppt

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    序号设备名称分类编码设备型号设备生产国别及厂家单价

    (万元)其中专项经费支出数量(台）总价156片MOCVD设备电子工艺实验设备AIXG5HT56德国AIXTRON1678.8011678.82Crosslight计算软件990000其他仪器APSYS加拿大33.1833.18133.183管芯安放机电子工艺实验设备AD830香港78.5978.59178.594离子溅射机电子工艺实验设备MRC943ThinFilmEquipmentsrl228.37125.001228.375

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