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水银微流体惯性开关的制作与测试.pdf

水银微流体惯性开关的制作与测试.pdf

    114传感器与微系统(TransducerandMicrosystemTechnologies)2013年第32卷第5期

    水银微流体惯性开关的制作与测试

    徐媛，杨涛，蔺怡，刘婷婷，陈光焱，王超

    (1．西南科技大学信息工程学院。四川绵阳621010；

    2．中国工程物理研究院电子工程研究所，四川绵阳621900)

    摘要：针对传统微机械“固一固”

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