GBT 44221-2024 光学系统波前像差的测定 夏克-哈特曼光电测量法标准立项发展报告.docx

光学系统波前像差的测定夏克-哈特曼光电测量法标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:DeterminationofWavefrontAberrationsforOpticalSystems—Shack-HartmannOptoelectronicMeasurementMethod

摘要

随着现代光学系统在航空航天、精密制造、生物医学和半导体光刻等领域的深度应用，系统波前像差已成为决定成像质量与光学性能的核心技术指标，对其高精度、高效率的检测需求日益迫切。夏克-哈特曼波前传感技术凭借其动态范围大、实时性强、光能利用率高