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CN119581306A 基于微波ecr与射频等离子体耦合的高效刻蚀方法与设备 （成都奋羽电子科技有限公司）.pdfVIP

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  • 2026-08-19 发布于重庆
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CN119581306A 基于微波ecr与射频等离子体耦合的高效刻蚀方法与设备 （成都奋羽电子科技有限公司）.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119581306A

    (43)申请公布日2025.03.07

    (21)申请号202411680233.0

    (22)申请日2024.11.22

    (71)申请人成都奋羽电子科技有限公司

    地址610000四川省成都市高新区天勤路

    277号4栋8-1号

    (72)发明人王邱林吉皓

    (74)专利代理机构成都九鼎天元知识产权代理

    有限公司51214

    专利代理师孙杰

    (51)Int.Cl.

    H01J37/32(2006.01)

    H01L21/67(2006.01)

    权利要求书2页说明书8页附图9页

    (54)发明名称

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