ISO 14644-82022 洁净室和相关受控环境.第8部分用化学浓度（ACC）评估空气清洁度标准立项发展报告.docx

洁净室和相关受控环境第8部分：用化学浓度（ACC）评估空气清洁度标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:CleanroomsandAssociatedControlledEnvironments—Part8:AssessmentofAirCleanlinessbyChemicalConcentration(ACC)

摘要

随着半导体制造、生物制药、航空航天及精密仪器加工等高新技术产业的迅猛发展，洁净室及相关受控环境中的气态化学污染物对产品质量和工艺良率的影响日益凸显。传统洁净室标准主要聚焦于颗粒物浓度的管控，而针