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稼仁半导体-氧化镓发展应用趋势-2026-08-零部件.pptx

稼仁半导体-氧化镓发展应用趋势-2026-08-零部件.pptx

    Rights;

    氧化镓应用前景01;

    氧化镓(Ga2O3)是一种超宽禁带半导体，存在多种不同的晶相，可以互相转化

    常压下β相最稳定，熔体法生长温度高，只能获得β相

    β相的晶体结构为单斜，对称性低，各向异性强，带来诸多问题;;

    在众多宽禁带半导体中，唯一可用常压、传统熔体法做大尺寸晶体的宽禁带半导体

    具有生长速度快（1~2个数量级）、大规模量产成本低、可做高质量大尺寸晶体等优点;

    氧化镓的硬度（6）与硅的硬度接近，可以用硅成熟的加工设备和技术（金刚线切割，CMP）

    具有高的加工效率和成品率，可显著降低成本;

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