CN119125831A 一种晶圆巨量检测设备及方法 (深圳市壹倍科技有限公司).pdfVIP

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  • 2026-08-20 发布于重庆
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CN119125831A 一种晶圆巨量检测设备及方法 (深圳市壹倍科技有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119125831A

(43)申请公布日2024.12.13

(21)申请号202411634840.3H01L21/66(2006.01)

H01L21/67(2006.01)

(22)申请日2024.11.15

(71)申请人深圳市壹倍科技有限公司

地址518000广东省深圳市宝安区西乡街

道铁岗社区桃花源科技创新生态园B5

栋一层

(72)发明人梁玉明吴凡卫茹陈湘文

刘龙航孔一帆黄岚

(74)专利代理机构深圳众鼎专利商标代理事务

所(普通合伙)

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