CN119148481A 一种物镜、物镜系统、光刻机以及物镜用稳压结构的设计方法 (上海芯东来半导体科技有限公司).pdfVIP

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  • 2026-08-21 发布于重庆
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CN119148481A 一种物镜、物镜系统、光刻机以及物镜用稳压结构的设计方法 (上海芯东来半导体科技有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119148481A

(43)申请公布日2024.12.17

(21)申请号202411651022.4

(22)申请日2024.11.19

(71)申请人上海芯东来半导体科技有限公司

地址201200上海市浦东新区中国(上海)

自由贸易试验区临港新片区环湖西二

路888号C楼

(72)发明人请求不公布姓名请求不公布姓名

请求不公布姓名

(74)专利代理机构上海乐泓专利代理事务所

(普通合伙)31385

专利代理师张浪

(51)Int.Cl.

G03F7/20(2006.01)

权利要

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