CN119164969A 一种超洁净环境下的晶圆质量检测方法 （视拓(苏州)工业自动化有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119164969A

(43)申请公布日2024.12.20

(21)申请号202411650589.X

(22)申请日2024.11.19

(71)申请人视拓（苏州）工业自动化有限公司

地址215000江苏省苏州市相城区渭塘镇

爱格豪路35号14号厂房3层

(72)发明人惠洁李硕硕张永帅胡浩

顾云龙

(74)专利代理机构苏州科权知识产权代理事务

所(普通合伙)32561

专利代理师张倩

(51)Int.Cl.

G01N21/95(2006.01)

G01N25/72(2006.01)

G01N29/06(2006.01)