CN119149546A 半导体工艺配方参数的数据管理方法、系统、设备及介质 (上海朋熙半导体有限公司).pdfVIP

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  • 2026-08-21 发布于重庆
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CN119149546A 半导体工艺配方参数的数据管理方法、系统、设备及介质 (上海朋熙半导体有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119149546A

(43)申请公布日2024.12.17

(21)申请号202411648507.8

(22)申请日2024.11.19

(71)申请人上海朋熙半导体有限公司

地址201208上海市浦东新区涵桥路619号

金鼎天地C栋15-17楼

(72)发明人刘源阙士芯

(74)专利代理机构上海港慧专利代理事务所

(普通合伙)31402

专利代理师龚张迪

(51)Int.Cl.

G06F16/22(2019.01)

G06F16/28(2019.01)

权利要求书2页说明书14页附图7页

(5

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