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用于光气动探测的MEMS热膜式微流量传感器研究

摘要

针对气体红外吸收的气动探测应用，设计并制备了一种基于微电子机械系统（MEMS）技术的热膜式微流量传感器。研究了热敏电阻间距以及工作温度对传感器灵敏度的影响。当热敏电阻间距为200μm、工作温度为150。C以及气体流量在-5～5mL／min时，微流量传感器输出信号与气体流量成线性关系，灵敏度约为299mv／（mL／min）。微流量传感器气体流量理论检测下限约为1．7μL／min，在气体流量为6μL／min时，响应时间（90％）和恢复时间（90％）分别为16和34ms。研究了微流量传感器温度补偿方法，消除了环境温度对灵敏度的影响。

关键词

MEMS技术；热膜式微流量传感器；光气动探测；灵敏度；温度补偿

一、引言

光气动探测技术在工业、环境监测、医疗等领域有着广泛的应用前景。在光气动探测系统中，微流量传感器作为关键部件，其性能的优劣直接影响着整个系统的灵敏度与可靠性。传统的流量传感器在尺寸、功耗、灵敏度等方面存在一定的局限性，难以满足光气动探测技术日益增长的需求。随着微电子机械系统（MEMS）技术的飞速发展，基于MEMS技术的热膜式微流量传感器因其具有尺寸小、重量轻、功耗低、灵敏度高、响应速度快以及可批量生产等优点，成为了光气动探测领域的研究热点。本文旨在设计并制备一种适用于光气动探测的MEMS