CN119465098A 基底承载装置、气相沉积模块、气相沉积设备及方法 (上海大学).pdfVIP

  • 1
  • 0
  • 约1.16万字
  • 约 12页
  • 2026-08-23 发布于重庆
  • 举报

CN119465098A 基底承载装置、气相沉积模块、气相沉积设备及方法 (上海大学).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119465098A

(43)申请公布日2025.02.18

(21)申请号202411637421.5

(22)申请日2024.11.15

(71)申请人上海大学

地址200444上海市宝山区上大路99号

(72)发明人余建波李书恒张一帆张小新

任忠鸣

(74)专利代理机构北京方圆嘉禾知识产权代理

有限公司11385

专利代理师和成

(51)Int.Cl.

C23C16/458(2006.01)

C23C14/34(2006.01)

C23C16/455(2006.01)

权利要求书

您可能关注的文档

文档评论(0)

1亿VIP精品文档

相关文档