集成电路键合工艺安全管控培训.pptxVIP

第一章集成电路键合工艺安全管控的重要性与现状第二章键合工艺中的物理危害与防护策略第三章键合工艺中的化学危害与控制方案第四章键合工艺中的环境危害与控制策略第五章键合工艺人员安全操作与培训体系第六章键合工艺安全管控的持续改进与合规管理

01第一章集成电路键合工艺安全管控的重要性与现状

引入——键合工艺事故案例警示2021年某半导体厂粉尘控制事故事故现场分析全球半导体键合工艺安全事故统计事故概述：操作员吸入金属颗粒导致生产线停摆粉尘环境中未佩戴防护面罩的操作员（SEM图像）2020-2023年约23起事故，12起涉及粉尘，6起涉及化学品泄漏

分析——键合工艺中的主要风险源物理危害：机械