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功率半导体晶圆基材项目施工方案.docx

功率半导体晶圆基材项目施工方案.docx

    功率半导体晶圆基材项目施工方案

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、项目概述与建设目标 3

    二、工程总体规划与组织架构 5

    三、施工技术准备与场地布局 7

    四、土建工程与基础结构施工方案 10

    五、主体结构与建筑工程施工方案 12

    六、工艺设备选型与安装方案 15

    七、特种气体与化学品供应系统建设 17

    八、工业水处理与冷却系统施工方案 20

    九、电力动力与弱配电系统施工方案 23

    十、暖通空调与精密通风系统施工方案 26

    十一、自动化控制与中控系统集成施工方案 29

    十二、晶圆制造生产线调试与调试方案 31

    十三、施工质量控制

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