ISO 14644-15：2026 洁净室和相关的受控环境 - 第15部分评估空气中化学品浓度对设备和材料的适用性标准立项发展报告.docx

洁净室和相关的受控环境——第15部分：评估空气中化学品浓度对设备和材料的适用性标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—Part15:Assessmentofsuitabilityforuseofequipmentandmaterialsbyairbornechemicalconcentration

摘要

随着半导体制造、生物医药、精密电子及航空航天等高新技术产业的飞速发展，洁净室及相关受控环境中的空气中化学污染物