CN119599970A 一种晶圆的芯片缺陷检测方法、系统及电子设备 (北京兆维智能装备有限公司).pdfVIP

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  • 2026-08-25 发布于重庆
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CN119599970A 一种晶圆的芯片缺陷检测方法、系统及电子设备 (北京兆维智能装备有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119599970A

(43)申请公布日2025.03.11

(21)申请号202411643983.0

(22)申请日2024.11.18

(71)申请人北京兆维智能装备有限公司

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